- 讲师:刘萍萍 / 谢楠
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透射式电子显微镜
一、透射电镜的概念:
是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。即用聚得很细的电子束照射在样品上,接受透过样品并带有样品内部信息的电子,经过物镜聚焦放大成像,这种接收电子成像的显微镜称之为透射电镜。
二、透射电镜的基本结构
透射电镜主要由电子光学系统空系统、电子学系统、冷却系统四部分构成。
1. 电子光学系统 相当于光镜的光源和反光镜
(1) 照明系统 相当于光学显微镜的照明部分,由电子枪和聚光镜组成
1)电子枪:由阴极、阳极、栅极组成。
阴极:由直径0.11—0.15mm粗的钨丝制成,呈V字型,也称灯丝。当通电达一定温度时,即产生热电子发射,形成强的照明电子束。
阳极:是一个中间带孔的金属圆盘,位于阴极的对面,它与阴极之间有10kv~120kv的电位差,这一负高压用以加速由阴极发射的电子束。
栅极:位于阴极和阳极之间,它的电位也比阴极低,起着控制电子束发射及改变电子枪中电场分布的作用。
2)聚光镜:将电子枪发射的电子束汇聚在样品上,对样品进行照明。
普通电镜有一个聚光镜;高分辨率的电镜有两个聚光镜,在第二聚光镜中装有活动光阑(用白金片做成),上面有直径为200μm 、300μm 和400μm 的圆孔,利用光阑孔的大小,可以控制聚光镜的孔径角,即控制照明束的强弱,使样品不致发生过热现象。
(2)样品室
样品室是放置样品用的,通过特殊的机械装置更换样品。另外,通过连动装置,在真空外可以操纵样品台在X、Y轴方向上移动。
(3)成像系统:
物镜:是电镜中第一个成像的电子透镜,要求有极高的加工精度及稳定性,以保证成像质量。物镜装有消像散器可消除像散,还装有活动光阑可提高反差。物镜是电镜中最关键的部件,电竞的分辨率主要取决于物镜的分辨率。
中间镜:是一个可改变放大倍数的弱透镜,主要用于控制总放大倍数。如果一个中间镜不能满足要求时,还可用两个中间镜来控制放大倍数。
投影镜:是将中间镜所成的像进一步放大并投影到荧光屏上,以供观察。与物镜和中间镜比较,投影镜的电流一般是不变的,即其放大倍数是固定的。
中间镜和投影镜的数目根据最高分辨率所要求的有效放大倍数而定(总放大倍数为各透镜放大倍数的乘积)。对它们的要求是:在尽可能缩短镜筒高度的条件下,满足高分辨率所需要的有效放大倍数;像差减到最小,保证图像不失真;可以进行衍射分析等。
(4)观察记录系统 包括荧光屏、光学显微镜和照相机构三部分。
荧光屏:是由电子束照射后能转换成光讯号的荧光粉涂制而成,主要作用是呈现透射电子显微像,使用者可以通过荧光屏选择图像区域,在照相前对图像进行聚焦。
光学显微镜:安装在主观察窗前,通常选用5~10倍饿双筒显微镜,作用是在不提高电子光学放大倍数的情况下分析高倍的电子图像,保证了在相应的倍数下,不损失图像信息,不降低图像亮度。有助于精确聚焦。
照相装置:由暗盒(底片盒、接收盒)、底片传送机构、快门和自动控制电路等组成。底片感光度、曝光时间确定后,快慢动作,底片传送,各数字的显示等全部自动化控制,使用的高压值、放大倍数、底片序号等全部记录在底片上。
2. 真空系统:
真空系统由机械泵、油扩散泵、真空管道、阀门及检测系统组成。
作用是排除镜筒中的空气,使镜筒达到高真空状态。否则,电子枪发射的高速电子会与气体分子发生碰撞,产生电子散射,影响像的质量和反差;此外,在电子枪中会产生高压放电,气体会腐蚀灯丝,影响灯丝寿命,还会污染样品。
3. 电子学系统
电镜所用的电源比较复杂,同时对电源的稳定性要求很高。在总的电源的供给上要求用专用线,对电源要先进行交流稳压,然后再进行整流、直流稳压,最后供给各部分使用。
主要的电源供给包括高压电源、电子枪灯丝电源等。
4. 冷却系统 作用:防止机器过热。
责编:刘卓
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